氣體質(zhì)量流量控制器通常用于測量小流量氣體，究竟是一個(gè)什么樣的東西？與其他氣體流量計(jì)相比有什么不同？有什么特點(diǎn)？

1.質(zhì)量流量與體積流量有什么區(qū)別？

許多研究和工業(yè)生產(chǎn)過程中，重要的變量是質(zhì)量而非體積。由于溫度或壓力變化會對氣體體積氣體密度產(chǎn)生影響，體積流量測量到的大小就會隨之改變，但是氣體的整體質(zhì)量不會隨著溫度或壓力的變化而變化。

相同質(zhì)量不同溫度和壓力的體積變化

與轉(zhuǎn)子流量計(jì)（可變面積流量計(jì)）或渦輪流量計(jì)等體積流量測量裝置不同，質(zhì)量流量控制器不受入口流量的溫度和壓力波動影響。質(zhì)量流量控制器可直接測量質(zhì)量流量。大多數(shù)其他方法測量體積流量需要單獨(dú)測量溫度和壓力，以計(jì)算密度，最終計(jì)算質(zhì)量流量。

質(zhì)量流量控制器在氣體分子層面上測量流量，因而可提供高精準(zhǔn)、高重復(fù)性和可靠的氣體傳輸中。

2.熱式質(zhì)量流量控制器測量原理的優(yōu)勢

熱式質(zhì)量流量控制器測量原理

熱式毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，此原理不需要溫度壓力進(jìn)行補(bǔ)償，通過傳感器加熱測得的信號送入信號放大器進(jìn)行放大，設(shè)定的電壓與放大后的流量檢測電壓進(jìn)行相互比較，把兩者的信號差值再進(jìn)行二次放大后最終控制調(diào)節(jié)閥門，最終閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

熱式氣體質(zhì)量流量控制器是目前測定小流量氣體常用的儀表。自從20世紀(jì)70年代中期推行以來，儀表經(jīng)歷了相當(dāng)大的發(fā)展，從模擬量到數(shù)字量，從小流量到大流量，從實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用到工業(yè)環(huán)境甚至危險(xiǎn)區(qū)域應(yīng)用。幾乎所有小流量氣體應(yīng)用都有適合的熱式氣體質(zhì)量流量控制器。用于小流量氣體測量和應(yīng)用的其他測量原理包括科里奧利流量測量控制和差壓測量控制。

3.科里奧利流量控制器

科里奧利質(zhì)量流量控制器在測量超臨界氣體以及用戶想要測量變化的或者未知的混合氣體時(shí)具有優(yōu)勢。

4.差壓測量流量控制器

根據(jù)哈根泊肅葉定律可知，壓差和氣體的流量有線性關(guān)系，包括氣體溫度以及所用氣體的密度和動態(tài)粘度。相比之下，熱式質(zhì)量流量控制器不易受到工藝中壓力變化的影響，熱式流量測量中本質(zhì)上更準(zhǔn)確。

層流差壓原理

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